随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

百科2026-06-06 03:59:236
位於美國加利福尼亞州。聖昆1852年7月啟用,丁州有一間毒氣室。立監但從1996年開始,聖昆只通過注射死刑執行死刑。丁州 參考 外部連結 California Department of Corrections and 立監Rehabilitation. Death row pictures. Accessed 6 January 2008. California Department of Corrections and Rehabilitation Official website Canadian Coalition Against the Death Penalty. Life on death row at San Quentin Prison. Clark, Richard. The gas chamber. Accessed 6 January 2008. Online Archive of California. Views of San Quentin Prison and Events, ca. 1925-1935. San Quentin News California's only inmate-produced newspaper. San Quentin State Prison Official webpage San Quentin State Prison Video Clip San Quentin T.R.U.S.T., to "motivate, educate, prepare and assist men in prison" Urban Strategies Council. San Quentin Community and Prison Health Project. San Quentin News Sanquentinblog.com 1852年美國建立 美国监狱 加利福尼亞州建築物 美國刑場 此監獄是聖昆加利福尼亞唯一男死刑犯的監獄,是丁州加州最老的監獄。

聖昆丁州立監獄()是立監一座建立的男子,這個監獄在電影電視上出現;是聖昆很多書籍的題材;舉行過音樂會;囚禁過許多惡名昭彰的犯人。

DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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发布时间:2022-04-12 22:39 来源:豫都网 我要投稿

[摘要]数据 投篮点 实录 网友热议 北京时间4月26日,NBA季后赛继续进行,西部进行3场比赛。圣安东尼奥马刺坐镇主场迎战孟菲斯灰熊,双方此前已经战成2-2平,本场比赛为双方的天王山之战,此战对于双方都至关重要。 灰熊在客场连续大比分输球后回到主场,让人惊奇的...

>>数据 投篮点 实录 网友热议

  北京时间4月26日,NBA季后赛继续进行,西部进行3场比赛。圣安东尼奥马刺坐镇主场迎战孟菲斯灰熊,双方此前已经战成2-2平,本场比赛为双方的天王山之战,此战对于双方都至关重要。

  灰熊在客场连续大比分输球后回到主场,让人惊奇的是他们在主场完全找回状态连续拿下两场比赛,对于灰熊来说这在一定程度上能够提高灰熊众将的士气。对于灰熊来说本场比赛能否一鼓作气在客场拿下一场比赛将决定比赛的走势。

  黑白双熊在前两场比赛中完全找回了状态,他们在内线是很好的防守大闸,在进攻方面有着天然的高度优势,当黑白二熊联手出战时灰熊的威力将会大大提升。本场比赛他们的任务就是镇守内线,用强悍的防守守住篮下,在防守的情况下打出反击。康利上场比赛发挥出色,在组织和进攻方面都给马刺带来不小压力,如果康利能够延续状态灰熊将会有获胜机会。在系列赛的前两场灰熊溃败,本场比赛能否有一个好的开局将至关重要。

  上半场,康利上来第一次出手便命中3分,接着抛投也有连得5分,灰熊在康利的带领下以10-4开局。此后马刺打出一波进攻高潮将比分反超,此时小加索尔站了出来连砍带罚连得6分帮助球队将比分追上。第二节比赛马刺手感回来连续在外线给灰熊施压,灰熊这边靠着强悍的冲击力接连造成马刺犯规,并且一直将比分僵持,上半场黑白二熊合砍17分。

  下半场,帕克连得4分将分差扩大到10分,此时康利站了出来连得5分帮助球队紧咬比分,不好景不长马刺随后再次将分差扩大。灰熊此后由小加索尔连续强攻马刺内线得分,不过零星的得分并不能填补巨大的分差,马刺将分差越拉越大。不过三节最后时刻康利连得7分将悬念重新找回,展现亿元先生价值。最后一节,马刺在最后时刻靠着米尔斯的神准3分将分差再次扩大,尽管灰熊依旧顽强但是有心无力输掉比赛。康利下半场发挥出色,全场砍下26分,外加6个助攻,无奈单拳难敌四手遗憾败北。

  本场比赛结束后双方大比分来到3-2,下一站双方将移师灰熊主场,尽管输掉天王山对于灰熊来说晋级希望不大,但是记录是用来打破的,灰熊没有理由放弃。

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亿元先生显个人价值 下半场神勇表现险逆转马刺

安佳玻璃容器公司(安佳玻璃)宣布已成功完成其此前宣布的全面资本重组,这标志着其持续转型过程中的一个重要里程碑,并为该业务的长期增长奠定了基础。

在新的多数股东——Canyon Capital Advisors、Millstreet Capital和瑞银(UBS)的支持下,这笔交易将公司债务减少了60%以上,并提供了1亿美元的新资本,以加速Anchor Glass的战略增长和现代化进程,为其客户、员工、社区、供应商和投资者创造更高价值。

“这一变革性时刻标志着Anchor Glass新时代的开始,”总裁兼首席执行官尼佩什?H?沙阿表示。“我们显著改善了资产负债表,获得了大量新资本,现在已准备好对我们的资产、员工和客户进行持续投资。这一基础使我们能更好地以‘一个Anchor’的姿态开展业务——提升安全性、提供完美的客户体验,并打造降低工业成本的能力。随着我们进入下一增长阶段,我们的团队期待着利用迄今为止取得的巨大进步。”

这笔新资金将战略性地用于该公司美国网络中的熔炉重建和产能扩张,使Anchor Glass能够更好地服务于食品、饮料、烈酒、即饮饮品和精酿啤酒终端市场的客户,这些市场依赖于可持续、高质量的玻璃包装。

到2030年,Anchor Glass预计将在资本改进方面投资超过10亿美元,这凸显了其对增长、创新以及为客户提供供应安全的长期承诺。

小玻编译

 

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安佳玻璃完成全面资本重组,国际动态

国家能源局综合司关于印发煤矿智能化技术升级应用试点项目名单的通知

国能综通煤炭〔2026〕14号

山西省、内蒙古自治区、云南省能源局,河北省、安徽省、山东省、四川省、陕西省、宁夏回族自治区、新疆维吾尔自治区发展改革委,河南省工业和信息化厅,中国华能集团有限公司、中国大唐集团有限公司、中国华电集团有限公司、国家电力投资集团有限公司、国家能源投资集团有限责任公司、中国中煤能源集团有限公司:

为深入贯彻落实党中央和国务院关于优化提升传统产业的决策部署,加快煤矿智能化关键技术攻关和推广应用,迭代提升煤矿智能化建设运行水平,根据《国家能源局综合司关于开展煤矿智能化技术升级应用试点工作的通知》(国能综通煤炭〔2025〕120号),经组织申报、初审推荐、专家评审和网上公示等程序,确定“煤巷钻锚铺一体化智能快速掘进试点项目”等77个项目为煤矿智能化技术升级应用试点项目。现将试点项目名单予以公布,并就有关事项通知如下。

一、科学编制试点项目实施方案。项目建设单位要以突破智能化关键技术瓶颈、推进智能系统优化升级为目标,聚焦典型应用场景,科学编制试点项目建设实施方案,明确试点建设目标、技术方案、攻关重点、进度安排、资金支持、保障措施等。其中,建设目标、攻关重点等要对照国能综通煤炭〔2025〕120号文中的技术指标进行细化量化,达到分领域升级试点目标要求。试点项目建设期原则上不超过3年。实施方案经省级煤炭行业管理部门(煤矿智能化建设牵头部门)、有关中央企业审核后组织实施,并抄送国家能源局。

二、加强试点项目组织实施。项目建设单位要落实试点工作主体责任,做好试点项目要素保障,按照实施方案加快试点项目建设,推进试点任务取得实效。鼓励项目建设单位与煤机装备制造企业、科研单位等组建联合技术创新团队,协同推进技术攻关和实践应用。省级煤炭行业管理部门(煤矿智能化建设牵头部门)、有关中央企业要加强对试点项目的动态跟踪和过程指导,积极协调解决试点工作中的困难和问题,推动项目按计划如期完成,为试点工作创造良好环境。

三、做好试点工作评估验收。试点项目建设任务完成后,省级煤炭行业管理部门(煤矿智能化建设牵头部门)、有关中央企业要对照试点建设目标和技术指标等要求,组织专家对试点项目进行评估验收,出具验收意见,并梳理总结试点项目建设进展成效和成熟模式,相关情况报国家能源局。国家能源局适时开展试点项目建设验收情况抽查。

四、加大试点成果推广应用。省级煤炭行业管理部门(煤矿智能化建设牵头部门)、有关中央企业要充分发挥试点项目示范引领作用,积极组织开展试点工作经验交流和技术推广,加快推进煤矿智能化升级改造,全面提升智能化建设运行水平。国家能源局依据有关政策规定加大试点项目支持力度,推动典型经验和成熟模式在全国范围内推广应用。

附件:煤矿智能化技术升级应用试点项目名单.doc

国家能源局综合司

2026年1月29日


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国家能源局公布煤矿智能化技术升级应用试点项目名单

(文章来源:央视新闻)

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特朗普称已告知以色列勿攻击伊朗境内能源设施

来源:国家自然科学基金委员会 发布时间:2026/3/2 18:26:09 选择字号:小 中 大
基金申报迎高峰,基金委提示这2个时段系统限流

 

关于科学基金网络信息系统错峰使用的公告

2026年科学基金网络信息系统进行了部分功能的替代更新。当前正值2026年度科学基金项目集中申报期(2月20日—3月20日),用户访问量持续处于高位。

为保障系统平稳运行,申报高峰时段(每天9:30—11:30和15:00—17:00)已实施分段限流措施,可能出现不超过10分钟的等待时间。建议广大申请人提前登录系统填写申报材料,避开高峰时段操作,以减少等待。同时,避免频繁刷新页面,如遇高峰期,请耐心等待系统响应。

由此带来的不便,敬请谅解,感谢您的理解与配合。

国家自然科学基金委员会信息中心

2026年3月2日

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